В Томске запустили производство химических реагентов для микроэлектроники

В Томском государственном университете (ТГУ), на базе химико-технологического центра приступили к производству двух важнейших для отечественной микроэлектроники химических соединений. Речь идет о чистом бромистом водороде и тетраксис (диметиламино) титана (TDMAT).


Освоение производства необходимых химических компонентов позволит полностью закрыть потребности российских компаний сферы микроэлектроники. Особенно важен чистый бромистый водород, который применяют для очистки кремниевых пластин, которые являются для микрочипов.

Ранее такие реагенты поставлялись из-за рубежа, и после того, как прекратились поставки, специалисты химической промышленности приступили к разработке собственной технологии выпуска. Как отметил руководитель проекта Виктор Сачков, исследовательская деятельность велась в течение 2023–2024 года.

Если же говорить о TDMAT, то данное соединение необходимо для производства полупроводников. С помощью этого вещества осуществляется технология нанесения покрытий из нитрида титана методом химического осаждения из газовой фазы. Реагент используется не только в микроэлектронике, он также принимает самое непосредственное участие в процессах, связанных с изготовлением оптики, композитных материалов, изотопов и конструкционных покрытий.

Подчеркнем, что процесс создания технологии TDMAT был полностью адаптирован под использование российских материалов и оборудования.


– подчеркнул руководитель проекта.

Продукция уже прошла все промышленные испытания, в которых приняли участие сами производители микроэлектроники. Первые партии направлены заказчикам. Как оказалось, спрос значительно превысил тот, что изначально планировали разработчики. В руководстве ТГУ подчеркнули, что готовы к вызовам, и смогут выпустить столько химкомпонентов, сколько потребуется.

Подобный проект с участием ученых из Томска станет серьезным шагом в развитии критически важной сферы российской промышленности и экономики. Задача – сделать производство микроэлектроники независимой от импортных поставок. Для этих целей была полностью замещена технология выпуска реагентов, а также обеспечена высокая чистота изготавливаемой продукции.

Еще одним значимым моментом в запуске производства вышеназванных химических реагентов можно считать то, что проект открыт на базе образовательного учреждения. Студенты Томского государственного университета могут участвовать в настоящих рабочих процессах. По словам декана химического факультета, это способствует подготовке специалистов, которые будут знакомы с актуальными технологиями.

Освоение нового производства стало возможным благодаря междисциплинарному подходу. В разработке технологии принимали участие специалисты из разных областей знаний (микроэлектроника, химия и т.д.). Промышленный цех располагается в инжиниринговом химико-технологическом центре ТГУ, возможности которого позволят увеличить объемы производства данных соединений, если в этом появится необходимость.

Достижения ученых из Томска открывают возможности для дальнейших разработок в области инновационных технологий.


– заявили в университете.

Запуск цеха химических реагентов – это значимый этап на пути к созданию замкнутого цикла производства микроэлектронных компонентов в России.


– заявили в пресс-службе ТГУ.