НПП «ЭСТО» развивает направление транспортных роботизированных систем

Компания АО «Научно-производственное предприятие "Электронное специальное технологическое оборудование"» (НПП «ЭСТО») представила новый транспортный перегрузочный модуль для установок жидкостно-химической обработки полупроводниковых пластин. Разработка была выполнена совместно с РФЯЦ-ВНИИЭФ «НИИИС им. Ю.Е. Седакова».


Создание транспортного роботизированного модуля обладает большим значением для отечественной микроэлектронной отрасли, поскольку в России не производят аналогичное оборудование, сообщили в пресс-службе компании.

Основное назначение инновации заключается в автоматизированном перемещении полупроводниковых пластин. С помощью модуля происходит их транспортировка от загрузки до буферной зоны и перегрузка в процессные ванны. Использование современных манипуляторов с высокой точностью позволяет ускорить производственный процесс и снизить количество дефектов, возникающих по вине человека.

Конструктивные особенности оборудования включают в себя систему поддержания высокой чистоты воздуха внутри рабочей зоны. Применение пневмопривода в исполнительных механизмах обеспечивает плавность хода и удобство обслуживания.

Роботизированный привод оснащен двигателем, который гарантирует высокую точность при работе с чувствительными компонентами. Конструкция позволяет легко стыковать новый модуль с головным и технологическими элементами, формируя полноценную установку технохимии. Возможность работы с пластинами различных размеров – 100, 150 и 200 миллиметров – расширяет область применения оборудования.

Разработки транспортной автоматизированной системы начали в 2023 от проектирования до создания первого опытного образца. Компания НПП «ЭСТО» создала сложное техническое устройство на высоком профессиональном уровне с определенными требованиями к квалификации и опыту.

Создание транспортных роботизированных систем представляет собой важный шаг по достижению нашей страной технологической независимости в сфере микроэлектронной промышленности, что особенно актуально с учетом сложившейся геополитической ситуации.

Новая разработка от НПП «ЭСТО» обладает стратегическим значением, поскольку ранее подобные системы в стране не выпускались. Теперь, когда импорт серьезно затруднен, появилась возможность использования отечественного решения с высоким уровнем локализации, которое поможет снизить зависимость от иностранных поставок.

АО НПП «ЭСТО» – это российская компания, которая занимается разработкой, производством и обслуживанием высокотехнологичного оборудования для микроэлектроники. Предприятие осуществляет широкий спектр услуг, также компания занимается поставками технологического оборудования. Направления деятельности включают в себя:

– плазмохимическое травление,

– вакуумое напыление,

– электронную литографию,

– транспортные системы и прототипирование,

– автоматизированные системы управления.

Оборудование от научно-производственного предприятия используется на различных предприятиях, включая атомную, электронную, приборостроительную и космическую промышленность. Кроме того, подобные решения подходят для малого бизнеса в сфере высоких технологий.

У компании серьезный экспортный потенциал. Предприятие осуществляет поставки своей продукции в Китай, Южную Корею и другие государства Юго-Восточной Азии. Кроме того, есть опыт экспорта в страны Европы и США.